总结其他答复中的评论意见：

//path = @"C:\Temp\Bar\Foo\Test.txt";
Directory.CreateDirectory(Path.GetDirectoryName(path));

Directory.CreateDirectory将递归地创建目录，如果目录已经存在，它将返回而不出错。
如果在C:\Temp\Bar\Foo处碰巧存在文件Foo，则将抛出异常。

DirectoryInfo di = Directory.CreateDirectory(path);
Console.WriteLine("The directory was created successfully at {0}.",
    Directory.GetCreationTime(path));

参见this MSDN page。

在创建文件之前使用Directory.CreateDirectory，它会递归地创建文件夹。

.给定一个路径，我们如何递归创建创建该路径的文件所需的所有文件夹
创建由path指定的所有目录和子目录。

Directory.CreateDirectory(path);

那么您可以创建一个文件。

您需要检查路径的两个部分（目录和文件名），如果不存在，则创建每个部分。
使用File.Exists和Directory.Exists来确定它们是否存在。Directory.CreateDirectory将为您创建整个路径，因此如果目录不存在，您只需要调用一次，然后简单地创建文件。

您应该使用目录。创建目录。
http://msdn.microsoft.com/en-us/library/54a0at6s.aspx

假设您的程序集/exe本身具有FileIO权限，这是不正确的。您的应用程序可能无法以管理员权限运行。考虑Code Access Security和requestingpermissions非常重要示例代码：

FileIOPermission f2 = new FileIOPermission(FileIOPermissionAccess.Read, "C:\\test_r");
f2.AddPathList(FileIOPermissionAccess.Write | FileIOPermissionAccess.Read, "C:\\example\\out.txt");
try
{
    f2.Demand();
}
catch (SecurityException s)
{
    Console.WriteLine(s.Message);
}

Understanding .NET Code Access Security
Is “Code Access Security” of any real world use?

您需要目录。CreateDirectory（）
下面是我使用的一个类（转换成C#），如果你传递给它一个源目录和一个目标目录，它会把那个目录下的所有文件和子文件夹复制到你的目标目录：

using System.IO;

public class copyTemplateFiles
{

public static bool Copy(string Source, string destination)
{

    try {

        string[] Files = null;

        if (destination[destination.Length - 1] != Path.DirectorySeparatorChar) {
            destination += Path.DirectorySeparatorChar;
        }

        if (!Directory.Exists(destination)) {
            Directory.CreateDirectory(destination);
        }

        Files = Directory.GetFileSystemEntries(Source);
        foreach (string Element in Files) {
            // Sub directories
            if (Directory.Exists(Element)) {
                copyDirectory(Element, destination + Path.GetFileName(Element));
            } else {
                // Files in directory
                File.Copy(Element, destination + Path.GetFileName(Element), true);
            }
        }

    } catch (Exception ex) {
        return false;
    }

    return true;

}


private static void copyDirectory(string Source, string destination)
{
    string[] Files = null;

    if (destination[destination.Length - 1] != Path.DirectorySeparatorChar) {
        destination += Path.DirectorySeparatorChar;
    }

    if (!Directory.Exists(destination)) {
        Directory.CreateDirectory(destination);
    }

    Files = Directory.GetFileSystemEntries(Source);
    foreach (string Element in Files) {
        // Sub directories
        if (Directory.Exists(Element)) {
            copyDirectory(Element, destination + Path.GetFileName(Element));
        } else {
            // Files in directory
            File.Copy(Element, destination + Path.GetFileName(Element), true);
        }
    }

}

}

下面的代码将创建目录（如果不存在）&然后复制文件。

// using System.IO;

// for ex. if you want to copy files from D:\A\ to D:\B\
foreach (var f in Directory.GetFiles(@"D:\A\", "*.*", SearchOption.AllDirectories))
{
    var fi =  new FileInfo(f);
    var di = new DirectoryInfo(fi.DirectoryName);

    // you can filter files here
    if (fi.Name.Contains("FILTER")
    {
        if (!Directory.Exists(di.FullName.Replace("A", "B"))
        {                       
            Directory.CreateDirectory(di.FullName.Replace("A", "B"));           
            File.Copy(fi.FullName, fi.FullName.Replace("A", "B"));
        }
    }
}